首页
官方微博
搜索

中国碳交易网

易碳家APP
北京环境交易所
  • 北京环境交易所碳资产管理培训即将开班
    •  企业碳管理培训
  • 企业碳管理培训碳市场与企业碳管理培训
    •  碳核查员培训
  • 碳核查员培训 让您熟知MRV体系建设规范
    • 碳资产管理培训
  • 碳资产管理培训 碳约束时代抢占市场先机
    • 中科华碳
  • 中科华碳 提供碳咨询与顾问服务
    • 火币大学
  • 火币大学 全球区块链领导者课程
    • 林业碳汇管理
  • 林业碳汇管理培训 CCER , 生态融资新机制
    • 易碳家
  • 易碳家 碳市场最新资讯一手掌握
    • 环境100文库
  • 环境100文库 碳市场学习资料任意下载
    • 广告位招商

    温室气体清单编制知多少——工业过程排放

    2015-7-23 22:09 来源: 中创碳投 |作者: 胡晓明

    半导体生产含氟气体排放


    10. 半导体生产含氟气体排放
    半导体生产过程采用多种含氟气体。含氟气体主要用于半导体制造业的晶圆制作过程中，具体用在等离子刻蚀和化学蒸汽沉积（CVD）反应腔体的电浆清洁和电浆蚀刻。这些生产环节会有部分含氟气体排放。《省级温室气体清单指南》要求计算和报告半导体制造的四氟化碳、三氟甲烷（CHF3或HFC-23）、六氟乙烷和六氟化硫的排放量。

    1 ...5678910111213下一页

    最新评论

    碳市场行情进入碳行情频道
    返回顶部